Barco de evaporação na fabricação de dispositivos eletrônicos: uma transportadora -chave para revestimentos de precisão

O barco de evaporação na indústria de fabricação de dispositivos eletrônicos é usado principalmente em chips semicondutores, displays de painel plano, componentes eletrônicos e outros processos de fabricação, como segue:
Fabricação de chips semicondutores
Formação da camada de interconexão de metal: o chip precisa construir linhas condutivas metálicas complexas para conectar os transistores e os módulos funcionais. Os barcos de evaporação são comumente usados ​​para evaporar materiais metálicos, como alumínio e cobre. Em um ambiente de vácuo, o material de metal é aquecido até a evaporação de alta temperatura no barco de evaporação e depois depositado na superfície da wafer para formar um padrão de interconexão de metal precisa por meio de fotolitografia, gravura e outros processos para realizar a transmissão de sinais elétricos dentro do chip.
Preparação de camadas de barreira e difusão: Para impedir que os íons metálicos se difunda na estrutura do chip e afete o desempenho do chip, uma camada de barreira precisa ser preparada entre a camada metálica e a camada semicondutora. Os barcos de evaporação podem ser usados ​​para evaporar materiais como o nitreto de titânio (TIN) como uma camada de barreira. Além disso, em alguns processos, também é necessário evaporar átomos de impureza, como boro e fósforo, através do barco de evaporação para formar uma camada de difusão, a fim de controlar com precisão as propriedades elétricas da região semicondutora de semicondutor.
Fabricação de exibição de painel plano
Preparação transparente do eletrodo condutor: Para exibições de cristal líquido (LCDs) e exibições de diodo emissor de luz orgânica (OLEDs), eletrodos condutores transparentes são necessários para acionar os pixels para emitir luz. Os barcos de evaporação podem ser usados ​​para evaporar materiais condutores transparentes, como óxido de lata de índio (ITO), que possui boa condutividade e transparência. O ITO é usado para formar um filme uniforme de ITO em um substrato de vidro através do processo de evaporação e depois padronizado por fotolitografia e outros processos como um eletrodo para controlar a transferência de carga e a luminescência de pixels na tela.
Deposição de camada de luz orgânica: Na fabricação de exibição OLED, o barco de evaporação é a principal ferramenta para depositar materiais orgânicos emissores de luz. Ao controlar com precisão a temperatura e a taxa de evaporação do barco de evaporação, o material OLED é evaporado e depositado no substrato para formar uma camada OLED ultrafina. Diferentes materiais orgânicos emissores de luz podem emitir diferentes cores de luz, através da combinação de camada orgânica emissora de luz de várias camadas e controle preciso, pode obter uma tela OLED de alta resolução e alta saturação de cores.
Fabricação de componentes eletrônicos
Preparação do resistor de filme fino: Os resistores de filmes finos são componentes comumente usados ​​em circuitos eletrônicos e são realizados depositando um filme fino com uma resistividade específica em um substrato isolante. Os barcos de evaporação podem ser usados ​​para evaporar materiais resistivos, como liga de níquel-cromo (NICR) e nitreto de tântalo (TAN). Ao controlar os parâmetros do processo de evaporação, a espessura e a resistividade do filme podem ser controladas com precisão, realizando assim a preparação de resistores de filme com diferentes valores de resistência para atender às necessidades de vários circuitos eletrônicos.
Fabricação de capacitores de cerâmica multicamada (MLCC): Os MLCCs são feitos de múltiplas camadas de dielétricos de cerâmica e eletrodos de metal empilhados alternadamente. Os barcos de evaporação são usados ​​na fabricação do MLCC para evaporar materiais de eletrodo interno, como paládio (PD), prata (AG) e outros metais. Durante a preparação da camada dielétrica de cerâmica, os eletrodos metálicos são depositados na superfície da folha de cerâmica pelo processo de evaporação e, em seguida, a estrutura multicamada é formada pelos processos de empilhamento e sinterização para obter alta densidade de capacitância e miniaturização do capacitor.
Desde os contatos de metal dos smartphones até o filme permeável dos óculos AR, o barco de evaporação como o "herói nos bastidores" da fabricação de dispositivos eletrônicos, é através da inovação material e da atualização inteligente, promovendo o limite de avanço da tecnologia de processamento de micro-nano. Com o aumento de semicondutores de terceira geração e eletrônicos flexíveis, a tecnologia de barcos de evaporação continuará evoluir e se tornará um consumível indispensável de ponta na cadeia da indústria.

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