Os barcos de evaporação se destacam em fornos a vácuo

O barco de evaporação é um forno a vácuo para atingir os componentes principais do revestimento de evaporação do material, sua função é levar a evaporação de materiais e torná -lo vaporizado pelo aquecimento, depositado em um ambiente de vácuo para formar um filme fino. A seguir da cena do aplicativo, propriedades materiais, pontos técnicos e aplicações do setor e outros aspectos da análise detalhada do barco de evaporação nas aplicações de forno a vácuo:

Uma cena de aplicativo central

1. Filme fino de deposição de filme e preparação de revestimento forno de vácuo através da evaporação Aquecimento de barcos Materiais evaporados (metais, ligas, compostos, etc.), de modo que está em um ambiente de baixa pressão, vaporização e deposição da superfície do substrato, ALL, filmes finais funcionais, uma filmagem condutiva \/ resultante de figura de realização: metais de metal, Camada (SiO₂, sinₓ), usada na fabricação de chips, placas de circuito, dispositivos MEMS. Filmes ópticos: filmes de aprimoramento da transmitância (MGF₂), filmes reflexivos (AG, AL), filmes de filtro (filmes dielétricos multicamadas), usados ​​em lentes ópticas, câmeras de telefone celular, exibições. Revestimentos funcionais: revestimentos resistentes ao desgaste (estanho, CRN), filmes de isolamento de calor (ligas de metal), filmes resistentes à corrosão (PTFE), usados ​​em vidro automotivo, ferramentas de corte, componentes aeroespaciais.

2. Purificação do material e modificação da separação de material de alta pureza: o uso de diferentes substâncias com pressão de vapor diferente, através do aquecimento do barco de evaporação para alcançar a purificação de elementos de terras raras (como ND, DY), metais preciosos (Au, Pt). Tratamento de doping de superfície: evaporação de dopantes (como B, N) na superfície das bolachas semicondutores ou eletrodos de bateria, para melhorar as propriedades elétricas ou ópticas dos materiais.

Segundo, os pontos técnicos e os requisitos de design

1. Controle de temperatura e uniformidade do barco de evaporação por aquecimento de resistência ou aquecimento do bombardeio de feixe de elétrons, precisam definir a temperatura de acordo com a pressão do vapor do material (como a temperatura de evaporação de Al cerca de 1200 graus, Au cerca de 1400 graus).

Projeto do corpo do barco (como a profundidade do sulco, o ângulo de inclinação) para garantir que a evaporação do material seja aquecida uniformemente, para evitar o superaquecimento local causado pela volatilização de respingos ou impureza.

2. Ambiente de vácuo correspondente a vácuo (geralmente 10- ³ ~ 10- ⁶ pa) pode reduzir o ponto de ebulição do material, melhorar a taxa de evaporação, evitando a oxidação. Os materiais de barco de evaporação precisam ser estáveis ​​sob o alto vácuo, como o barco de grafite, é necessário evitar a oxidação de alta temperatura (precisa ser preenchida com gás inerte como AR).

3. Compatibilidade química para evitar a evaporação de materiais e a reação do barco: por exemplo, a evaporação de Zn, materiais contendo S, não deve usar o barco de molibdênio (fácil de formar um baixo ponto de fusão ₂ Lead à corrosão); Evaporação do barco de nitreto de boro preferido por nitreto, para impedir o corpo do barco de metal e a reação do elemento N para gerar impurezas.

4. Ciclo de vida e reposição após o uso a longo prazo, o barco pode ser devido à erosão do material, resíduos de evaporação ou falha de deformação, manutenção regular (como limpeza ultrassônica) ou substituição para garantir a estabilidade da qualidade do revestimento. Aplicações típicas da indústria

1. Fabricação de chips semicondutores e microeletrônicos: evaporação de Al, Cu Preparação de eletrodos de circuito integrado, usando barco molibdênio ou barco de tungstênio; A deposição da camada de isolamento SiO₂ pode ser o barco de grafite opcional ou o barco de nitreto de boro (para evitar contaminação por metal). Dispositivos de potência: o uso da evaporação do barco de nitreto de boro GaN, ALN, a preparação do transistor de mobilidade de elétrons de alta camada epitaxial, para evitar a introdução de impurezas no corpo do barco de metal.

2. Componentes ópticos de precisão de tecnologia óptica e exibição: Evaporação de barcos de tungstênio AG, AL Preparação de espelhos, evaporação de barcos de grafite MGF₂, preparação de SiO₂ do filme de aprimoramento da transmitância, para garantir a uniformidade do filme e a baixa taxa de defeitos.

OLED e MINI LED: Evaporação do barco de nitreto de boro de materiais emissores de luz orgânicos (como complexo de IR) ou pontos quânticos, para evitar os materiais do corpo do barco e moléculas orgânicas reativas, para melhorar a vida útil do dispositivo.

3. Células solares de campo novo de energia: Evaporação de barcos de molibdênio AG Electrodo Slorry, Filme de redução de deposição de barcos de grafiteₓ; Na bateria de calcogeneto, a evaporação de barcos de nitreto de boro iodo formamidina (fapbi₃), para evitar contaminação por vapor de água e impurezas.

4. Baterias de íons de lítio: evaporação do barco Tantalum Li Preparação de metal de eletrodos de bateria de estado sólido, o uso de sua resistência à corrosão de lítio; A evaporação dos elementos B, N elementos dopados com base no ânodo de silício, para melhorar o desempenho do ciclismo.

5. Equipamento de ponta e revestimento aeroespacial: evaporação de barcos de tungstênio Ti, Tin de preparação de CR, revestimento duro CRN, melhorar a resistência ao desgaste da ferramenta; Evaporação de barcos de nitreto de boro do precursor de diamante, a preparação do filme DLC usado em rolamentos de aviação.

Tratamento de liga de alta temperatura: evaporação de Al, Y e outros elementos por barco molibdênio no forno a vácuo para formar revestimentos antioxidantes (como revestimento de alumina) para lâminas aero-motoristas.

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